FEATURES
SPECIFICATION
⊙ 높은 처리량 : 빠른 스왑 시간
⊙ 고객 맞춤형 시스템 : 스택 로드락, 배치로드락, 히터 유닛 , 냉각 유닛
⊙ AWC 기능
⊙ 신뢰성 및 손쉬운 유지보수
TM & LL FEATURES
⊙ 로드락 : 배치 및 스택 사용 가능
⊙ 5+5 배치 타입 : 히터 유닛
⊙ 2단 구조( 하이 & 로우 스택 ), 냉각 장치
⊙ 진공, 가스관 및 I/O 박스
⊙ 손쉬운 유지보수 및 청정 시스템
⊙ 5+5 배치 타입 : 히터 유닛
⊙ 2단 구조( 하이 & 로우 스택 ), 냉각 장치
⊙ 진공, 가스관 및 I/O 박스
⊙ 손쉬운 유지보수 및 청정 시스템