- VACTRA-Q
- VACTRA-D
- VACTRA-SP
- VACTRA-Orbit
- VACTRA-Pinnacle
VACTRA-SERIES
7-Axes
VACTRA-Q
VACTRA-Q是真空机器人，用于在半导体制造工程中的高真空状态下运输晶圆。
- Body Size
- Ø312mm x 935mm
- Rotation Radius
- R496
- Max. Stroke
-
R-Axis ≤ 960mm(C to C)
T-Axis 330°
Z-Axis 150mm
-
Link-Type Arm Module
- 重复精度高
- 拥有结构专利
-
AWC精度高
- “One Step”位置修正
-
4个机械臂可以单独工作
- 可以单独控制机械臂
VACTRA-SERIES
4-Axes
VACTRA-D
VACTRA-D是VACTRA系列的另一个真空机器人型号，是用于在半导体制造工程中运输晶圆的高真空机器人。
- Body Size
- Ø380mmx540mm, 726mm
- Rotation Radius
- R450mm
- Max. Stroke
-
R-Axis ≤ 1000mm(C to C)
T-Axis 359°
Z-Axis 95mm, 215mm
-
Particle free
-
Single/Dual Pick & Place
-
AWC精度高
VACTRA-SERIES
4-Axes
VACTRA-SP
- Body Size
- Ø320mm x 626mm
- Rotation Radius
- R272.5mm
- Max. Stroke
-
R-Axis ≤ 700mm(C to C)
T-Axis 330°
Z-Axis 150mm
-
AWC精度高
-
Single/Dual Pick & Place
-
安装面积最小化（600×600）
VACTRA-SERIES
5-Axes (SCARA)
VACTRA-Orbit
- Body Size
- Ø380mm x 810mm
- Rotation Radius
- R375mm
- Max. Stroke
-
R-Axis ≤ 965mm(C to C)
T-Axis 370° (±185°)
Z-Axis 150mm
Hand 370° (±185°)
-
可以应对连续生产（PM to PM）
-
所有机械手均可单独控制
-
1个机械臂、2个机械手结构
VACTRA-SERIES
8-Axes / Dual(2) Arm, Quad(4) Hand
VACTRA-Pinnacle
- Body Size
- Ø372mm x 530mm
- Rotation Radius
- R330mm
- Max. Stroke
-
R-Axis ≤ 680mm(C to C)
T-Axis 330°
Z-Axis 90mm
-
2个机械臂、4个机械手结构
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所有机械手均可单独控制
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安装面积最小化
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支持剪刀式运动（Scissor Motion）
-
最小转动半径：330mm